本文標(biāo)題："晶圓切削泥材料的主要成分簡(jiǎn)介-材料檢測(cè)顯微鏡"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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晶圓切削泥材料的主要成分簡(jiǎn)介-材料檢測(cè)顯微鏡
矽晶圓為多晶矽材料的下游，為矽晶太陽(yáng)能電池的上游，
制程上矽晶圓切削矽泥主要回收產(chǎn)物包括廢有機(jī)溶劑、碳化矽與矽2 項(xiàng)，
矽泥之組成主要成分為有機(jī)溶劑、碳化矽(SiC)、矽(Si) 與微量的鐵等組成，
一般回收業(yè)者先行回收DEG 或PEG( 二乙二醇或聚乙二醇等溶劑) 之后，
利用旋轉(zhuǎn)式真空離心、過(guò)濾等方式，以物理分選程序，利用矽與碳化矽之粒徑大小不同，
采連續(xù)式真空高速離心(Decander) 分離固液二項(xiàng)，固相回收大顆粒的碳化矽固體料，
液相則為剩馀小顆粒，成份為矽、少量碳化矽以及鐵等金屬之混合物，在經(jīng)濾網(wǎng)壓濾后乾燥，
制成不同等級(jí)的煉鋼用脫氧劑產(chǎn)品販?zhǔn)?。固相碳化矽之純度需達(dá)98.5% 以上冶煉等級(jí)，
利用多次酸堿反應(yīng)，調(diào)整反應(yīng)槽的pH 值與經(jīng)多次水洗壓濾及乾燥程序，提昇碳化矽回收物之A 級(jí)品純度高于98.5%，
不但解決業(yè)者目前僅能回收廢有機(jī)溶劑技術(shù)瓶頸，
也可回收與販?zhǔn)鄄煌燃?jí)矽與碳化矽再生產(chǎn)物( 二次料)，
也能大幅降低太陽(yáng)能矽晶圓產(chǎn)業(yè)對(duì)于碳化矽原料( 一次料) 依賴，減低碳化矽原料高耗能提煉對(duì)于環(huán)境衝擊。
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