本文標題："反射光強度也跟研磨品質有關,光學儀器知識"

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反射光強度也跟研磨品質有關,光學儀器知識

可能造成光損耗變大的制程原因有

(1)鈦擴散制程時氧化鋰外擴散形成表面波導。

(2)黃光制程蝕刻鈦條不良或 Y 分支顯影不夠造成光的散射。

(3)緩衝層薄膜品質不佳造成傳播損耗變大。但從光波導紅光輸出影像中我們并沒有發(fā)現(xiàn)

表面波導的形成，

而在曝光顯影時我們依照判斷圖樣測試條件并且在顯微鏡下觀察，曝光顯影條件均在控制之內，

所以我們歸因于緩衝層薄膜品質不佳造成插入損耗變大

光反射損耗(Optical Return Loss)量測

無論在光通訊或是光感測的運用光調變器通常搭配外加半導體雷射光

源，而光在元件中傳輸任何介面都造成光反射，反射光會延著光路返回雷

射進入共振腔會造成雷射不穩(wěn)定，

運用上的要求反射損耗須大于 50dB。

光反射損耗的量測方法是將光調變器輸入端接入光反射量測儀(JDSU

RM3)輸出端光纖以捲繞的方式將光漏掉，

量測結果為顯示光纖切角處理效果良好，而反射光強度也跟研磨品質有關，研磨品質越好返射越小

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