本文標(biāo)題："電子顯微鏡(SEM)中的電子PVC技術(shù)-EoS失效分析"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類(lèi): 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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電子顯微鏡(SEM)中的電子PVC技術(shù)-EoS失效分析
EoS失效分析——PVC工具
電壓對(duì)比技術(shù)可以用來(lái)評(píng)估與“開(kāi)路”和“短路”相關(guān)的EOS
失效機(jī)制。電壓對(duì)比技術(shù)包括無(wú)源電壓對(duì)比(PVC)和有源電壓對(duì)比(
AVC)。
PVC技術(shù)并不會(huì)把襯底或管芯連接到電源或信號(hào)上。半導(dǎo)體電
路中的PVC失效定位方法是基于對(duì)比器件的“暗”或“亮”之間的
差異來(lái)確定器件是否接地、反向偏置或是懸空。聚焦離子束、電子
束是用來(lái)給物理結(jié)構(gòu)充電，用探測(cè)器來(lái)對(duì)響應(yīng)信號(hào)進(jìn)行成像。輻射
的來(lái)源是聚焦離子束(FIB)的離子和掃描電子顯微鏡(SEM)中的電子
。
對(duì)于EOS失效分析，PVC可以用來(lái)評(píng)估短路連接、開(kāi)路電路、柵
極電介質(zhì)擊穿漏電和合金結(jié)漏電。
EOS失效分析——AVC工具
有源電壓對(duì)比(AkiC)技術(shù)可以用來(lái)評(píng)估與“開(kāi)路”和“短路”
相關(guān)的EOS失效機(jī)制。對(duì)f大型結(jié)構(gòu)、鏈路和復(fù)雜互連，無(wú)源電壓對(duì)
比(PVC)的作用很有限。AVC技術(shù)的一個(gè)優(yōu)勢(shì)是對(duì)比的提升，對(duì)較大
的缺陷和復(fù)雜電路的開(kāi)路、短路或結(jié)構(gòu)缺陷之間的區(qū)別更清晰。
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