本文標(biāo)題："精密加工相適應(yīng)的精密測(cè)量萬工顯制造廠商-工具顯微鏡"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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最近的精密加工大致分為兩類。一類是在原有的機(jī)械加
工中，增加數(shù)字控制裝置或自動(dòng)控制裝置，在金屬模的自由曲
面加工中尤為常見。另一類是用新的物理化學(xué)方法加工高精
度標(biāo)準(zhǔn)尺、繞射光柵的刻線和集成電路等。
與上述精密加工相適應(yīng)的精密測(cè)量方法，是在零件加工
過程中，對(duì)零件的尺寸、形狀和位置誤差進(jìn)行自動(dòng)測(cè)量和在加
工后進(jìn)行精密測(cè)量(如光波干涉法等測(cè)量方法)。
為了能在加工中或加工后迅速地計(jì)算處理測(cè)量數(shù)據(jù)，必
須使用電子計(jì)算機(jī)，然后把計(jì)算機(jī)處理的數(shù)據(jù)反饋給機(jī)床，以
保汪及時(shí)地控制加工情況。
加工中時(shí)刻變化的測(cè)量值是時(shí)間序列信息。加工后測(cè)得
的零件的尺寸、形狀、表面表面粗糙度儀等數(shù)據(jù)，也可按時(shí)間序列信
息處理。研究這兩種時(shí)間序列信息的相關(guān)性并用來處理測(cè)量
數(shù)據(jù)，可以獲得加工機(jī)床及測(cè)量儀器的動(dòng)態(tài)特性。
用金剛石觸針測(cè)量加工表面的凹凸及波紋時(shí)，得出的信
息都屬于時(shí)間序列信息。最近研制成的脈沖編碼調(diào)制激光探
測(cè)視頻圓盤，對(duì)時(shí)間序列信息的加工、測(cè)量及其數(shù)據(jù)處理都起
了很大的作用，開拓了新的領(lǐng)域。
從前的測(cè)量大都是由人直接讀取被測(cè)量值，因此在研究
測(cè)量方法時(shí)，也多基于如何使被測(cè)量值容易讀取。然而，為了
提高測(cè)量效率，實(shí)現(xiàn)測(cè)量過程自動(dòng)化，特別是為了消除人為的
測(cè)量誤差，必須研究新的測(cè)量方法。
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