本文標題："光學(xué)零件輪廓形狀測量都是非接觸測量,測量顯微鏡"
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光學(xué)零件輪廓形狀測量都是非接觸測量,測量顯微鏡
形狀測量
使用莫爾拓撲法的測量其最大特點是非接觸測量，它適用于
以往不可能測量的對象．現(xiàn)在來記述一下已能測量的例子．在整塊
布面上，將用縫紉機軋出的表面形狀進行數(shù)字化是不容易的．
測量法得到的用縫紉機軋制布料表面形狀的等
高線圖像．此時等高線的間隔是1．Omm．為從這個等高線圖形中將
布料各點的值數(shù)值化，要使用分析裝置．用得到的數(shù)據(jù)作成所需的
斷面上的斷面圖．斷面圖的繪制也可使用分析裝置以數(shù)字化連續(xù)
進行．
機械零件等產(chǎn)品往往要求l0μm-一1．Oμm左右的粗表面平面
度．對于幾個駐組的乎麗度測量，利用光波波長的干涉測量法是
合適的，但是對于10μm—1.0μm的平面度測量，就不能采用干
涉法．這種情況的零件其表面狀態(tài)往往也是粗糙的，從這一方面
來看也不能應(yīng)用表面干涉法．利用莫爾拓撲測量法的平面度測量
可適用于這樣的零件．
它適用于因淬火而造成的齒形變形能
從法蘭盤面的變形加以推斷的情況．若利用莫爾拓撲測量作為臨
界值樣板使用，則對零件的挑選是有利的．莫爾條紋是數(shù)字量，
利用莫爾條紋的條數(shù)作成臨界值進行挑選，可容易地引入到加工
過程中．
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