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本文標題:"微機械的微零件輪廓測量工業(yè)顯微鏡"

發(fā)布者:yiyi ------ 分類: 行業(yè)動態(tài) ------ 人瀏覽過-----時間:2013-8-26 5:20:8

微機械的微零件輪廓測量工業(yè)顯微鏡

 

微機電系統(tǒng)

(1)根據(jù)牛頓第二運動定律,力量等于質(zhì)量和加速度的乘簀。在微機械的領(lǐng)域中,所應(yīng)用零件質(zhì)量都非常小,
對一固定的力量,其加速度會變得非常大。所以,從理論上看一極小的質(zhì)量處于一微觀世界將會產(chǎn)生很多新的特性,
因而開創(chuàng)一個新的科技領(lǐng)域。

(2)微機械的觀念是從制造微電子電路而衍生出來的。而目前制造微電子、電路的技術(shù)已可制造微零件,
但在物理意義上,這些由硅芯片制成的微零件仍是屬于二次元。而微機械的微零件必需是三維零件,
所以應(yīng)發(fā)展新的科技以制造所需之三維微零件。

(3)微細裝置的機械行為將是另一具挑戰(zhàn)性的領(lǐng)域。微觀世界之摩擦、應(yīng)力、磨耗、變形、疲勞、潤滑?#31561;
機械持性將不同于巨觀世界。
(4)微細機械的微觀環(huán)境持性,可預(yù)期的將不同于巨觀的環(huán)境。當微機械小至原子間的距離時,
外下列環(huán)境因去將會影響它的行為:

微粒子或原子環(huán)境的碰撞。

氣體或液體的黏性變換環(huán)境因素。
電、磁場環(huán)境。
 


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