本文標題:"切割晶圓時不但能大幅度提高材料利用率-材料顯微鏡"
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細顆粒鉆石 As-Grown/Fine Particle Diamond
細顆粒鉆石以完美的晶型和達到微粉(53µm)以細粒度尺寸的特點,在超精密拋光和研磨領(lǐng)域發(fā)揮了不可替代的作用,
與傳統(tǒng)微粉相比,在加工效率和穩(wěn)定性大幅度提高的同時,能夠最大限度的減少對工件表面的損傷,
大幅度提高加工質(zhì)量。在切割晶圓時不但能大幅度提高材料利用率,而且能大幅度減少后序加工量。
◎ 產(chǎn)品特性
★粒度細:
400目以細即38微米以細,目前聯(lián)合的細顆粒產(chǎn)品粒度在230-800目,即18-63µm,≤1000目產(chǎn)品正在研發(fā)中。
★晶型好:
以等積形、完整6-8面體為主,晶型對稱規(guī)則,與普通微粉相比,能夠提高切割效率,減小對工件的表面刮傷。
★雜質(zhì)少、透明度好:
鉆石內(nèi)部包裏體及氣泡雜質(zhì)很少,透明度很好,具有很高的沖擊韌性(Ti)和熱沖擊韌性(TTi),質(zhì)量穩(wěn)定可靠,能夠滿足電鍍工藝對鉆石的質(zhì)量要求。
◎ 應用領(lǐng)域
★鉆石砂輪:
細顆粒鉆石電鍍砂輪和陶瓷砂輪在加工微晶玻璃、硬質(zhì)合金刀具,復合超硬材料刀具和特種陶瓷等難加工材料時,具有更高的加工精度和加工效率,并且能夠大幅度提高加工質(zhì)量。
★替代圓形高品級微粉:
與普通微粉磨圓料相比,晶型更圓更規(guī)則能夠在減小對工件表面刮傷的同時,提高去除效率。
★用于合成高品級的PDC(聚晶鉆石復合片):
與針片狀微粉相比,近乎球形的細顆粒鉆石可以最大限度的提高微粉的堆積密度,使PDC中鉆石的含量提高,同時提高PDC中鉆石顆粒間的鍵合,合成出的PDC在耐磨性、抗沖擊性能和耐熱性能方面比傳統(tǒng)微粉合成的PDC有大幅度的提高。
★晶體材料的切割:
用于單晶硅棒、多晶硅棒以及藍寶石和碳化硅等各種晶體切割的電鍍鉆石切割微線,作為細顆粒鉆石新的應用領(lǐng)域,近年來得到了快速發(fā)展和應用,與碳化硅和鉆石微粉相比,能夠提高切割面的平整度和尺寸精度,減少晶圓表面的微裂紋,在大幅度減少材料損耗的同時還能減少后序?qū)Ρ砻鎾伖獾募庸ち?,使得晶體加工的成本大大降低
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