本文標(biāo)題："表面微觀形貌測(cè)量技術(shù)與儀器技術(shù)簡(jiǎn)介"
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表面微觀形貌測(cè)量技術(shù)與儀器技術(shù)簡(jiǎn)介
近年來(lái)隨著表面形貌研究的深入，又出現(xiàn)了許多新的評(píng)價(jià)表面
形貌的方法，特定功能參數(shù)集法，功率譜密度法，以及利用小波變
換方法來(lái)分析表征表面形貌等。
現(xiàn)代測(cè)量技術(shù)和計(jì)算機(jī)技術(shù)的發(fā)展，使測(cè)量和描述表面微觀形
貌更為簡(jiǎn)單方便。目前，表面微觀形貌測(cè)量技術(shù)與儀器技術(shù)主要有
兩個(gè)分支：一是以觸針?lè)榇淼慕佑|測(cè)量法；另一種是非接觸測(cè)
量法，主要是通過(guò)光學(xué)技術(shù)／電子來(lái)獲得表面形貌的信息。另外近
幾年發(fā)展起來(lái)的掃描隧道顯微技術(shù)和原子力顯微技術(shù)也被用來(lái)作為
測(cè)量超光滑表面微觀形貌的工具，使得表面形貌測(cè)量技術(shù)達(dá)到了分
子、原子尺度。
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