本文標題："測量光學(xué)儀靜止-測量額外的振動和空氣湍流"
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測量光學(xué)儀靜止-測量額外的振動和空氣湍流
環(huán)境條件
環(huán)境條件(尤其是溫度系數(shù))可以影響激光波長的參考值，因此
影響測量精度。環(huán)境的溫度、壓力和相對濕度都屬于眾多一般因素
中應(yīng)盡可能解決的環(huán)境因素。此外，環(huán)境參數(shù)的變化也可能導(dǎo)致在
校準和補償階段有不適當(dāng)?shù)膸缀握`差補償，不同的環(huán)境條件得到不
同的機械幾何特性。雖然它們的影響在機器上可能會是隨機的，但
是它們可以在一定程度上得到補償。
CMM(坐標測量機)和機床的熱效應(yīng)可以使機械的結(jié)構(gòu)產(chǎn)生非常
復(fù)雜的特性。它們有不同的來源，包括不直接與機械相關(guān)的操作，
如房間溫度、光源和液壓系統(tǒng)等。為了盡量減少熱膨脹效應(yīng)，就必
須讓機械和光學(xué)儀溫度穩(wěn)定，然后才能測量。良好的環(huán)境溫度調(diào)節(jié)
可能是必要的，這取決于應(yīng)用程序和要求。雖然可以近似補償，但
全部由電腦熱補償是非常困難的。一階熱效應(yīng)建模與補償更現(xiàn)實和
適合實際情況。一階熱校正需要每軸至少有一個傳感器。使用多個
幾何誤差模型來反映幾何學(xué)中的熱效應(yīng)，每一個模型在特定的工作
溫度范圍內(nèi)是有效的。
測量光學(xué)儀靜止時，額外的振動和空氣湍流可以由測量結(jié)果的
隨機漂移來確定。也可以由漂移的增加或連續(xù)運行使光學(xué)部件間距
離的增加來確定它們的影響。防止影響的方法是確保所有設(shè)備的剛
性固定和支撐，并利用足夠的通風(fēng)設(shè)備讓空氣充分流通。
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