本文標(biāo)題："質(zhì)譜儀涂層裝置的制造加工實(shí)驗(yàn)-機(jī)械和工藝涂層"
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質(zhì)譜儀涂層裝置的制造加工實(shí)驗(yàn)-機(jī)械和工藝涂層
大多數(shù)情況下，可通過前述的壓力計(jì)指示出來，其產(chǎn)生一個(gè)控制系統(tǒng)
的警報(bào)。然而涂層裝置的制造者通常利用特殊的裝置去檢測淀積室的密封狀態(tài)。
氦質(zhì)譜儀泄漏的檢測在需要壓力密封的產(chǎn)品中檢測泄漏是一個(gè)非常靈敏的方法
。這種方法的操作是通過直接把氦氣通入泄漏的地方然后進(jìn)入檢測
器，基于質(zhì)譜儀的原理。此系統(tǒng)可檢測出非常小量的氦氣。對于涂層的應(yīng)用，檢
漏儀由質(zhì)譜儀管和固態(tài)電子控制面板組成，但是沒有真空泵系統(tǒng)。此儀器的操作
依靠被檢測的組成部分處于高真空狀態(tài)。質(zhì)譜儀管與真空系統(tǒng)相連接。一個(gè)以上
的質(zhì)譜儀管共享同一個(gè)控制面板，可以附上真空裝置系統(tǒng)的被檢測的不同的位置
以提高檢測效率。
溫度控制
真空涂層過程的效果和質(zhì)量與溫度有很大的關(guān)系。物理、機(jī)械和工藝涂層特
性對淀積溫度非常敏感，因此，其大小通常作為涂層的規(guī)格被記錄。隨淀積溫度
的增加，對于同樣的涂層等級通?？商岣哂捕群蛣傂裕硪环矫?，可降低內(nèi)應(yīng)
力和涂層的延展性。
進(jìn)一步講，淀積溫度可引起基底的晶體轉(zhuǎn)化，例如，非控制的退火。因此溫
度是關(guān)鍵參數(shù)，必須在整個(gè)淀積周期內(nèi)精密地跟蹤和調(diào)整。
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