本文標(biāo)題:"亞微米級精度的變位計(jì)和能測量出0.1s數(shù)據(jù)精度"
發(fā)布者:yiyi ------ 分類: 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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亞微米級精度的變位計(jì)和能測量出0.1s數(shù)據(jù)精度
在現(xiàn)有的精密檢測技術(shù)條件下,要求現(xiàn)高精度的
檢測,則需亞微米級精度的變位計(jì)和能測量出0.1s
數(shù)據(jù)精度的角度計(jì),但是,以高精度的掃描基準(zhǔn)來
進(jìn)行測量是非常困難的,因?yàn)閽呙栊螤顪y量的精度
是由掃描引導(dǎo)的運(yùn)動(dòng)精度決定。
工作機(jī)械直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的高精度化是精密檢測技
術(shù)的保證,運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)誤差是評價(jià)精度必要的
手段。高精度的直定規(guī)等是測量運(yùn)動(dòng)基準(zhǔn)的最后一
般辦法,但在測量移動(dòng)范圍很大的計(jì)測法等,開發(fā)
出了以激光光線為基準(zhǔn)的測量法。
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