本文標(biāo)題："輪廓儀器組構(gòu)中包括光學(xué)式顯微鏡-儀器簡介"
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輪廓儀器組構(gòu)中包括光學(xué)式顯微鏡-儀器簡介
干涉輪廓儀器基本上是裝有發(fā)光系統(tǒng)的顯微鏡
物鏡與被測表面之間有一個(gè)斜反射鏡
對(duì)表面成一個(gè)小的傾料角，形成了一個(gè)尖劈形的空氣間隙。
表面與反射鏡之間的多次反射產(chǎn)生了清楚的條紋，
可以在目鏡中看到。同樣方法，用一個(gè)球形的半反射面就可
以測量球的表面粗糙度.
雖然干涉儀在應(yīng)用于測定表面紋理方面有一定局限
性，可是也有其優(yōu)點(diǎn):例如能測定表面的一個(gè)面積，能顯示
表面形狀誤差;是一種不接觸的測量方法，
并且能且出劃傷或其它痕跡的真實(shí)深度而不管其
寒度如何.
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