本文標(biāo)題："高精度清晰測(cè)量用金相分析顯微鏡廠商-自動(dòng)對(duì)焦"

高精度清晰測(cè)量用金相分析顯微鏡廠商-自動(dòng)對(duì)焦

顯微照像的快速自動(dòng)對(duì)焦技術(shù)，主要以解決
目前在 TFT-LCD 及彩色濾光片 (color filter, CF) 面板產(chǎn)業(yè)所使用的自動(dòng)光
學(xué)檢測(cè)機(jī) (automatic optical inspection, AOI) 及激光修補(bǔ)機(jī) (laser repair, LR)
所需的自動(dòng)對(duì)焦問(wèn)題為基礎(chǔ)，提供ㄧ個(gè)快速、穩(wěn)定、且可靠的顯微照像快
速自動(dòng)對(duì)焦技術(shù)。
我們依據(jù)光學(xué)成像原理以及影像處理的概念，使用快速傅立葉轉(zhuǎn)換
(Fast Fourier Transform, FFT)、離散馀弦轉(zhuǎn)換 (Discrete Cosine Transform,
DCT)、小波轉(zhuǎn)換 (Discrete Wavelet Transform, DWT)、及理想高通濾波器
(Ideal high pass filter, IHPF)、巴特沃斯高通濾波器 (Butterworth high pass
filter, BHPF)、高斯高通濾波器 (Gaussian high pass filter, GHPF)、理想低通
濾波器 (Ideal low pass filter, ILPF)、巴特沃斯低通濾波器 (Butterworth low
pass filter, BLPF)、高斯低通濾波器 (Gaussian low pass filter, GLPF)等頻率域
的濾波器、及空間域的濾波器ㄧ次差分平方和 (energy of gradient magnitude,
EOGM) 與二次差分平方和 (energy of image Laplacian, EOIL) 等技術(shù)來(lái)分
析顯微影像的清晰程度。并將上述技術(shù)結(jié)合二次曲線近似、三次曲線近似、
與高斯曲線近似等對(duì)焦搜尋算法 (autofocus searching algorithm)，探討其
移動(dòng)間距、取樣點(diǎn)數(shù)、對(duì)焦速度、及對(duì)焦穩(wěn)定性與可靠度。為了達(dá)到快速、
穩(wěn)定與可靠等特性，我們提出二種判定對(duì)焦量測(cè)準(zhǔn)則優(yōu)劣的準(zhǔn)則：

(i) 雜訊的抵抗能力；
(ii) 計(jì)算復(fù)雜度；并提出二種判定對(duì)焦搜尋算法優(yōu)劣的準(zhǔn)則：
(i) 移動(dòng)取像次數(shù)；(ii) 正確對(duì)焦的穩(wěn)定性與可靠度。

我們認(rèn)為對(duì)焦量測(cè)準(zhǔn)則與對(duì)焦搜尋算法有顯著的相關(guān)性，因此我們依據(jù)對(duì)焦量測(cè)準(zhǔn)則的
雜訊抵抗能力、計(jì)算復(fù)雜度、及對(duì)焦搜尋算法所需的移動(dòng)取像次數(shù)來(lái)比
較對(duì)焦量測(cè)準(zhǔn)則；最后以大量的自動(dòng)對(duì)焦實(shí)驗(yàn)來(lái)證實(shí)

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