本文標(biāo)題："購置專業(yè)高精度量測儀器-顯微鏡減少輪廓誤差"

購置專業(yè)高精度量測儀器-顯微鏡減少輪廓誤差
 
單次電極涂布補(bǔ)正分析
同一芯片一次涂布之電極輪廓經(jīng)由軟件補(bǔ)正數(shù)次后，期望電極輪廓
與芯片邊界對位誤差可以穩(wěn)定于一范圍內(nèi)，由實(shí)驗(yàn)結(jié)果得知 x1 最大誤
差為 0.0276 mm，y1 最大誤差為 0.0137 mm，θ1 最大誤差為 0.0540°，
雖然最大誤差有較大偏差，但其它數(shù)據(jù)分布都接近理想值，持續(xù)補(bǔ)正
后數(shù)值皆趨近穩(wěn)定，代表軟件補(bǔ)正具有明顯成效。

 兩次電極涂布補(bǔ)正分析
兩次涂布輪廓補(bǔ)正為最后研究成果，兩次輪廓誤差必需降低至 50
μm 內(nèi)，此一實(shí)驗(yàn)結(jié)果得到兩次涂布電極輪廓補(bǔ)正后 x 最大誤差為
0.0093 mm，y 最大誤差為 0.0111 mm，θ 最大誤差為 0.0040°，角度換
算后對應(yīng)之芯片邊界位移誤差為 0.0052 mm，由數(shù)據(jù)可得知兩輪廓補(bǔ)
正后誤差降低至設(shè)定的目標(biāo)范圍(50 μm)內(nèi)，甚至更小，因此可以證明
軟件補(bǔ)正兩次涂布電極輪廓對位誤差有明顯的成效。
綜合以上實(shí)驗(yàn)結(jié)果，兩次電極涂布對位誤差經(jīng)由軟件補(bǔ)正后，誤差皆
降低至 50 μm 內(nèi)，證明軟件補(bǔ)正有明顯成效。實(shí)驗(yàn)中幾次發(fā)生誤差值較大
偏差，必須注意的是，網(wǎng)版與涂布銀膠品質(zhì)的控管，如此才能確保軟件進(jìn)
行影像辨識時，能完整辨識出影像邊界，以降低誤差的產(chǎn)生

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