本文標(biāo)題："TEM電子顯微鏡樣品測量面積是極小的-光學(xué)儀器常識"
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TEM電子顯微鏡樣品測量面積是極小的
在分析TEM樣品時，必須懂得測量面積是極小的，因此，
測量結(jié)果末必能代表整塊試樣，應(yīng)當(dāng)采用盡可能低的放大倍
數(shù)而是要許多位置上隨機地選擇試驗區(qū)域。用復(fù)型測定沒有
大的問題。應(yīng)用的方法同反射光的光學(xué)顯微鏡方法也一樣，
除非是由于用了很高的放大倍數(shù)而使測量面積很小影響統(tǒng)計
學(xué)的測量精度。
SEM具有光學(xué)顯微鏡和大部分TEM所復(fù)蓋的放大倍數(shù)的范圍
，但制樣方法和光學(xué)顯微鏡一樣，雖然對SEM觀察時，為改
善圖象反差，常常把試樣浸蝕得深一些，但是使用現(xiàn)代化的
儀器則不一定有深浸蝕的必要。對于高倍下的測量要得到最
好的精確度，要求淺浸蝕，其實，若各相之間的原子序數(shù)差
別較大而足以產(chǎn)生滿意的背散射電子圖象的話，許多試樣用
不著浸蝕就可進行觀察，深浸蝕會增加視在尺寸、體積分率
和第二相粒子數(shù)而減少它們的間距，深浸蝕試樣對研究形狀
和大小很有用，但任何獲得其他情報的嘗試會導(dǎo)致錯誤的結(jié)
論。當(dāng)試圖用SEM圖象或照片進行測量時，應(yīng)避免試樣相對
于電子束的傾斜，否則會使分析復(fù)雜化。
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